Установка вакуумного напыления предназначена для нанесения немагнитных металлических покрытий на изделия с использованием магнетронного способа напыления. На позиции загрузки-выгрузки изделий размещены: тележка; пульт управления; многоканальный вакуумметр.
Шлюзовая камера оснащена пневмовакуумными затворами, средствами высоковакуумной откачки, приводом тележки.
Камера напыления оснащена: двумя магнетронными распылительными устройствами на постоянных магнитах; средствами высоковакуумной откачки; двухканальным блоком подачи газов; гидроприводом подъема крышки камеры.
Управление установкой осуществляется от программируемого контроллера SIMATIK S7-1200. Напыление осуществляется перемещением тележки с изделиями в камере напыления под магнетронными распылительными устройствами.
Максимальная кинематическая производительность установки 6 м2/ч изделий размером, мм, до 600х1800х(5…50), при ритме работы 10 минут.
Технические характеристики
|
Габаритные размеры установки (без блока питания): |
|
| – длина, мм
– ширина, мм – высота, мм |
6400
2000 1900 |
| Масса установки, кг | 2500 |
| Потребляемая электрическая мощность (максимальная), кВт | 20 |
| Давление сжатого воздуха, МПа | 0,5 |
| Предельное остаточное давление в камерах напыления и шлюзования, Па | 5·10-3 |
| Рабочее давление в камере напыления, Па | (1…5)·100 |
| Ток напыления, А | 30 |
