Установка предназначена для напыления покрытий из немагнитных металлов в вакууме на стеклянные или полимерные изделия.
Установка состоит из позиции загрузки-выгрузки изделий, шлюзовой камеры, камеры напыления, блока питания магнетронных распылительных устройств.
На позиции загрузки-выгрузки изделий размещены: тележка; пульт управления; многоканальный вакуумметр.
Шлюзовая камера оснащена пневмовакуумными затворами, средствами высоковакуумной откачки, приводом тележки.
Камера напыления оснащена: двумя магнетронными распылительными устройствами на постоянных магнитах; средствами высоковакуумной откачки; двухканальным блоком подачи газов; гидроприводом подъема крышки камеры.
Технические характеристики
|
Габаритные размеры установки (без блока питания): |
|
| длина, мм
– ширина, мм – высота, мм |
3200
1200 1500 |
| Масса установки, кг | 1500 |
| Потребляемая энергетика:
Сеть, В, квА Сжатый воздух под давлением, Мпа Вода для охлаждения, Мпа Газ из баллонов |
380; 20
0,5 3/4” 0,3 аргон, кислород, азот |
| Наибольшие размеры обрабатываемых изделий, мм | 1200×300×50 |
| Материал мишеней | нержавеющая сталь, титан, медь, алюминий |
| Размеры мишеней, мм | 269×100×10 |
| Предельное остаточное давление в камерах напыления и шлюзования, Па | 5·10-3 |
| Рабочее давление в камере напыления, Па | 1·10-1 – 5·10-1 |
Ток напыления- до10 А при напряжении до 600 В.
Производительность установки 3м2/ч при ритме работы 10 мин.
Управление установкой от программируемого контроллера SIMATIK S7-200, управление подачей газов в камеру напыления от управляющих модулей LOGO.
Напыление осуществляется перемещением тележки с изделиями в камере напыления под 2 магнетронами.
