Вакуумная напылительная установка предназначена для нанесения оптических покрытий, на износостойкие, декоративные поверхности. Современная, высокопроизводительная шлюзовая система с линейной компоновкой является идеальным выбором для подложек большого размера.
Полная автоматизация процесса производства. Сканирование образцом обеспечивает максимальную равномерность оптического уровня. Шлюзовая система предварительного нагрева и ионной очистки изделий. Суточная производительность до 200 шт. листов габаритом 1300х2500 мм.
Одновременно транспортируются два образца на одной подвесной раме. Камера напыления оборудована четырьмя магнетронами (по два с каждой стороны) для скоростного напыления.
Установка характеризуется следующими особенностями:
– многократное реверсное прохождение рамы с двумя образцами между магнетронами;
– вертикальная транспортировка рамы со стеклами с верхней ее подвеской;
– система вакуумных турбомолекулярных насосов для получения необходимого разряжения в камере напыления, обеспечивающая высокую надежность технологического процесса;
– оригинальное техническое решение загрузки, выгрузки и транспортировки изделия по технологическим позициям;
– оригинальная конструкция крепления магнетронов, которая облегчает их чистку и осмотр, а также замену мишеней.
Управление установкой осуществляется как вручную, так и автоматически микропроцессором.
Габаритные размеры установки: длина -10500 мм, ширина -5300 мм, высота -3000 мм.
