Установка вакуумного напыления предназначена для нанесения металлических и неметаллических покрытий на полимерную или металлическую ленту 600х4000. В основе работы установки лежит способ вакуумного распыления немагнитных металлических материалов с помощью магнетронных распылительных устройств на нетканый материал, перематываемый в вакуумной камере. Вакуумно-призматическая система представляет собой трехступенчатую систему создания вакуума для обеспечения работоспособности оборудования.
Технические характеристики
| Габаритные размеры оборудования, не более:
– длина, мм – ширина, мм – высота, мм |
2250 1400 1520 |
| Занимаемая площадь, м2 | 30 |
| Общий вес оборудования, кг | не более 900 |
| Скорость перемотки ленты в установившемся режиме металлизации, мм/мин | от 100 до 3500 |
| Потребляемая электрическая мощность (максимальная), кВт | не более 20 |
| Предельное остаточное давление в камере, Па | не более 7·10-3 |
| Рабочее давление аргона в камере регулируемое в пределах, Па | (0,4…0,7)·10-1 |
| Количество магнетронных распылительных устройств (МРУ) | 2 |
| Размеры мишеней, мм | 644х120 |
| Напряжение МРУ, В | до 600 |
| Ток напыления МРУ регулируемый в пределах, А | от 1 до 10 |
| Способ напыления | вакуумный магнетронный |
